Bearbeitungsdatenerzeugungsverfahren für kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung und kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung

摘要

Bereitgestellt wird ein Verfahren zum Erstellen von Bearbeitungsdaten für eine hybride Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung zum Herstellen eines mikrobearbeiteten Erzeugnisses aus einem Werkstück, wobei die Bearbeitungsvorrichtung umfasst: ein elektromagnetische Wellen nutzendes Bearbeitungsmittel zum Grobbearbeiten des Werkstückes; ein Präzisionsbearbeitungsmittel zum Präzisionsbearbeiten des grobbearbeiteten Werkstückes; und ein Formmessmittel, wobei die Erstellung der Bearbeitungsdaten Gebrauch macht von: Information über eine ursprüngliche Form entsprechend einer Form des Werkstückes; Information über eine Grobbearbeitungsform zur Abtragung von dem Werkstück durch das elektromagnetische Wellen nutzende Bearbeitungsmittel; und einem stereoskopischen Modell einer nach der elektromagnetische Wellen nutzenden Bearbeitung vorhandenen Form aus der Ermittlung durch Subtrahieren der Grobbearbeitungsform von der ursprünglichen Form, wobei die Bearbeitungsdaten zur elektromagnetische Wellen nutzenden Bearbeitung erstellt werden auf Grundlage von Information über eine Mehrzahl von Scheibenunterteilungsabschnitten aus der Ermittlung durch partielles Abschneiden von dem stereoskopischen Modell der nach der elektromagnetische Wellen nutzenden Bearbeitung vorhandenen Form.