| 摘要 |
La presente se refiere a un procedimiento para la puesta a disposición de pulsaciones de potencia para cátodos de pulverización de PVD que abarca una parte constructiva que absorbe la potencia y un cátodo parcial, en donde durante un intervalo de acumulación de la potencia de un generador se disminuye la potencia en la parte constructiva que absorbe la potencia y seguidamente se disminuye la potencia en el cátodo parcial, con lo que se conmuta de manera tal que no es necesario interrumpir la toma de potencia desde el generador que pone a disposición la potencia. El procedimiento comprende las etapas de: a) puesta a disposición de un generador con entrega constante de potencia prefijada, por lo menos después de la conexión y después de trascurrido un intervalo de acumulación de potencia; b) conexión del generador; c) conexión de la parte constructiva que absorbe la potencia, al generador; d) separación del generador con respecto a la parte constructiva después de trascurrido el intervalo de acumulación de la potencia; e) conexión del primer cátodo parcial al generador; y f) separación del generador con respecto al primer cátodo después de transcurrido un primer intervalo de pulsaciones de potencia prefijado correspondiente al primer cátodo parcial; en donde las etapas d) y e) se llevan a cabo de manera que al conectarse el primer cátodo al generador no se presenta un segundo intervalo de acumulación de potencia, siendo preferible que el mismo se logre por el hecho de que el intervalo de acumulación de la potencia y el primer intervalo de potencia se superpongan en el tiempo y no sea necesario interrumpir la entrega o salida de la potencia del generador. |
