聚合物光波导电流传感器

摘要

本发明涉及一种将热光学相位调制器、波导型偏振器、光耦合器等光学元件集成到一个基板上且测量电流大小的集成光学电流传感器。相比现有的由光纤构成的电流传感器，所提出的集成光学电流传感器体积小，同时可进行可靠性高的电流测量。并且提供一种可利用集成光学制造工艺来容易地量产电流传感器芯片的方法。

主权项

一种聚合物光波导电流传感器，其特征在于，包含：第一光耦合器（10），将在光源（100）所生成的光入射到该第一光耦合器（10）；第一光波导型偏振器（20），将从所述第一光耦合器（10）发出的光转换为单一偏振状态；相位调制器（30），调节从所述第一光波导型偏振器（20）发出的光的相位；线偏振变换器（40），改变通过所述第一光波导型偏振器（20）的光的偏振状态并将光传输至所述相位调制器（30）；电流测量光纤线圈（70），当经过所述相位调制器（30）的光通过该电流测量光纤线圈（70）时，该光受到施加到位于该电流测量光纤线圈（70）的中央的电线（1）的电流产生的磁场的影响而相位发生变化；以及光检测器（200），测量从所述电流测量光纤线圈（70）发出的光被反射镜（90）反射而返回的光，其中，所述第一光耦合器（10）、第一光波导型偏振器（20）、相位调制器（30）以及线偏振变换器（40）均集成在一个芯片上。