涂敷液填充方法、狭缝喷嘴、排出口闭口构件以及狭缝喷嘴单元

摘要

本发明提供有助于提高涂膜品质的涂敷液填充方法。该涂敷液填充方法是将对基板表面涂敷涂敷液的狭缝喷嘴的内部的气体排出并填充涂敷液的方法，狭缝喷嘴具备：涂敷液供给口；涂敷液排出口；歧管，与供给口连通，用于将涂敷液贮存到狭缝喷嘴内部；液体通路，与歧管连通，用于使涂敷液向狭缝喷嘴的排出口流动；以及通气孔，用于排除歧管内的气体，该涂敷液填充方法具有在从上述供给口向上述狭缝喷嘴内部的涂敷液的送液中进行的排出口闭口工序和通气孔开放工序，该排出口闭口工序使上述排出口成为关闭的状态，该通气孔开放工序使上述通气孔成为开放的状态。

主权项

一种涂敷液填充方法，其特征在于，在将涂敷液填充到以规定宽度对被处理物表面涂敷涂敷液的狭缝喷嘴的内部的方法中，上述狭缝喷嘴具备：作为涂敷液的供给部的供给口；作为涂敷液的排出部的排出口；与上述供给口连通，用于将涂敷液贮存到狭缝喷嘴内部的歧管；与上述歧管连通，使涂敷液向上述狭缝喷嘴的排出口流动的液体通路；以及用于排出上述歧管内的气体的通气孔，该涂敷液填充方法具有在从上述供给口向上述狭缝喷嘴内部的涂敷液的送液中进行的排出口闭口工序和通气孔开放工序，该排出口闭口工序使上述排出口成为关闭的状态，该通气孔开放工序使上述通气孔成为开放的状态。