物联网射频收发组件固支鱼刺梁振动电磁自供电微传感器

摘要

本发明公开了一种物联网射频收发组件固支鱼刺梁振动电磁自供电微传感器，该微传感器以砷化镓衬底（1）为衬底，一个固支梁（3）两端的固支梁锚区氮化硅（2）分别固定在砷化镓衬底（1）上，在固支梁（3）上的两侧分别设有三对悬臂梁（4），该悬臂梁（4）的中间一对较长，而两边两对较短且等长，外围设有整流电路（11）、第一大电容（12）,第二大电容（13）、第一稳压电路（14）和第二稳压电路（15）。本发明解决了射频收发组件中小功率器件的自供电问题，并可以实现较宽频带范围的振动能量的收集，并提高自供电微传感器的效率，同时抑制系统结构的抖动。另一方面提高了射频收发组件的电磁兼容性，提高了自供电微传感器的效率。

主权项

一种物联网射频收发组件固支鱼刺梁振动电磁自供电微传感器，其特征在于该微传感器以砷化镓衬底（1）为衬底，一个固支梁（3）两端的固支梁锚区氮化硅（2）分别固定在砷化镓衬底（1）上，在固支梁（3）上的两侧分别设有三对悬臂梁（4），该悬臂梁（4）的中间一对较长，而两边两对较短且等长，外围设有整流电路（11）、第一大电容（12）,第二大电容（13）、第一稳压电路（14）和第二稳压电路（15）；其中在固支梁（3）两头根部的上表面设有具有上下电极板的压电薄膜作为固支梁振动能量收集结构（5），在三对悬臂梁（4）的上表面各设有一个具有上下电极板的压电薄膜作为悬臂梁振动能量收集结构（5），在固支梁（3）和三对悬臂梁（4）的下表面设有双极子天线（6）作为电磁能量收集结构；对于固支梁（3）根部和三对悬臂梁（4）上的振动能量收集结构，设计具有三种不同固有谐振频率的梁，从而实现较宽频带范围的振动能量的收集，同时抑制了系统结构的抖动；而天线收集了射频收发组件中的杂散波能量，提高了射频收发组件的电磁兼容性，而且振动实现了天线多方向的接收。