供气单元和供气装置

摘要

提供能够缩小设有多个开闭阀的块的宽度且易于制造的供气单元。供气单元(11)的流路块(20)形成为呈长条状延伸的长方体形状，顶面(20a)搭载有多个呈直列式配置的开闭阀(50)。各开闭阀的各阀室(24)设于流路块的顶面。处理气体流路(22)与阀室(24)的大致连通并向背离流路块的顶面的方向延伸且于底面开口。载气流路(21)连接相邻的开闭阀的阀室，且包括侧面流路(25)，该侧面流路(25)沿流路块的长度方向交替地设于流路块的两侧面(20c)的一个侧面(20c)与另一个侧面(20c)上。侧面流路(25)由沿流路块的长度方向延伸的槽部和覆盖槽部的槽开口的盖部件构成。

主权项

供气单元，包括内部设有流路的流路块，所述流路包括主流路和多个分别与所述主流路连通的副流路，对每一所述副流路设有开闭阀，所述开闭阀阻断和连通所对应的所述副流路和所述主流路，其特征在于：所述流路块形成为呈长条状延伸的长方体状，包括阀搭载面和副流路开口面并且所述阀搭载面和所述副流路开口面是位于相反两侧的面，其中，所述阀搭载面搭载有所述开闭阀，所述副流路的开口设置于所述副流路开口面；所述开闭阀沿所述阀搭载面的长度方向进行直列式配置，所述开闭阀的各阀室设于所述阀搭载面；所述副流路连通所述阀室的大致中央部分并且向背离所述阀搭载面的方向延伸，所述副流路的开口形成于所述副流路开口面；所述主流路连接相邻的所述开闭阀的所述阀室，并包括侧面流路，所述侧面流路设于所述流路块中从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面中的至少一个侧面上，所述侧面流路由沿着所述阀搭载面的长度方向延伸的槽部和覆盖所述槽部的槽开口的盖部件构成，所述侧面流路沿所述阀搭载面的长度方向交替地设于所述流路块中从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面的一个侧面和另一侧面上，设于所述流路块中从宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面的一个侧面和另一侧面且关于所述阀搭载面的长度方向相邻的所述侧面流路包括在所述阀搭载面的长度方向上在设有所述阀室的位置处相互重叠的部分。