| 摘要 |
Miniatur-Differentialmikrophon, hergestellt in Oberflächen-Mikrofertigung, bestehend aus: a) einem Substrat (200); b) einer auf der oberen Oberfläche des Substrats (200) abgeschiedenen Opferschicht (202); c) einer auf der Oberfläche der Opferschicht (202) abgeschiedenen Membranmaterialschicht (204); d) einer in der Membranmaterialschicht (204) eingeformten Membran (102), die von dem übrigen Teil der Membranmaterialschicht (204) durch einen um den Umfang der Membran (102) verlaufenden Schlitz (114) getrennt ist; und e) einem, in einen durch Entfernen der Opferschicht (202) hergestellten Hohlraum (110) unter der Membran (102) eingeschlossenen hinteren Luftvolumen (108) mit einer durch die Dicke der Opferschicht (202) definierten Tiefe, wobei das hintere Luftvolumen (108) mit einer zu ihm außerhalb liegenden Region nur über den Schlitz (114) in Verbindung steht, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (102) durch ein Gelenk (104) gestützt ist. |
