故障生产机台检测的方法和装置

摘要

本发明提供了一种故障生产机台检测的方法和装置，属于半导体制造领域。该方法包括：将晶片划分为若干缺陷区域，每个所述缺陷区域与对应的生产机台组相关联；对所述若干缺陷区域进行缺陷扫描，获取每个所述缺陷区域的缺陷数量；判断所述若干缺陷区域中是否存在所述缺陷数量大于预定值的缺陷区域；如果是，则对所述缺陷数量大于所述预定值的缺陷区域所对应的生产机台组进行告警。该装置包括：关联模块、扫描模块、判断模块和告警模块。通过本发明的技术方案可以快速确定发生故障的生产机台，从而有助于减少故障生产机台对线上晶片的影响，提高了产品的良率。

主权项

一种故障生产机台检测的方法，其特征在于，包括：将晶片划分为若干缺陷区域，每个所述缺陷区域与对应的生产机台组相关联；对所述若干缺陷区域进行缺陷扫描，获取每个所述缺陷区域的缺陷数量；判断所述若干缺陷区域中是否存在所述缺陷数量大于预定值的缺陷区域；如果是，则对所述缺陷数量大于所述预定值的缺陷区域所对应的生产机台组进行告警；所述将晶片划分为若干缺陷区域的步骤包括：以晶片的中心点为基点，根据所述晶片的定向将所述晶片划分为若干扇形缺陷区域。