电化学微流芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电化学微流芯片，包括设置在基底上的金属Cr层，所述金属Cr层上设置有金属Au层，所述金属Au层上设置有作为工作电极的金属Bi层和作为辅助电极的电极Ag或AgCl层，所述基底上设置有上盖，上盖与基底之间的空隙为微流道。本发明以MEMS微细加工技术制备基于电化学溶出法的便携式水体离子在线检测仪芯片，而只需使用普通紫外光源，借助光刻胶优异的高精度结构成型能力，使用普通的掩模版，就可完成电化学微流芯片单元的制备。本发明工艺简单、成本低，而且易于批量化生产。

主权项

一种电化学微流芯片，其特征在于：包括设置在基底（5）上的金属Cr层（1），所述金属Cr层（1）上设置有金属Au层（2），所述金属Au层（2）上设置有作为工作电极的金属Bi层（3）和作为辅助电极的电极Ag或AgCl层（4），所述基底（5）上设置有上盖（7），上盖（7）与基底（5）之间的空隙为微流道（6）。