一种旋转盘上的气路控制装置

摘要

本发明公开了一种旋转盘上的气路控制装置，包括旋转盘，在旋转盘的中心设有气体旋转快换接头和与气体旋转快换接头连接的气体分流头，旋转盘上圆周均布有若干真空吸附工装，所述气体分流头与各真空吸附工装之间均通过真空发生器和真空控制阀连接，在旋转盘的上方需要断真空的位置安装有压块与真空吸附工装的真空控制阀相配合。采用本发明装置，可以实现将多个真空吸附工位集中在旋转盘上，从而减小设备占地面积，提高设备的自动化程度。

主权项

一种旋转盘上的气路控制装置，其特征是包括旋转盘，在旋转盘的中心设有气体旋转快换接头和与气体旋转快换接头连接的气体分流头，旋转盘上圆周均布有若干真空吸附工装，所述气体分流头与各真空吸附工装之间均通过真空发生器和真空控制阀连接，在旋转盘的上方需要断真空的位置安装有压块与真空吸附工装的真空控制阀相配合。