发明名称 一种激光折叠谐振腔的调试方法
摘要 本发明公开了一种激光折叠谐振腔的调试方法。本发明采用一与激光折叠谐振腔的出射激光光路重合且方向相反的可见光束作为参考光束;在折叠谐振腔输出镜预设位置放入输出镜,调整其姿态和位置使参考光束从输出镜中心垂直入射;沿激光折叠谐振腔的出射激光光路的反向依次在预设位置放入折叠腔镜、工作介质,并依次调整姿态和位置,使得从前一单元透射或反射过来的参考光束垂直入射到当前待调整单元的入射面中心,同时当前待调整折叠腔镜反射的参考光束入射到下一单元的入射面中心;在预设位置放入并调整全反镜,使参考光束垂直入射到全反镜的反射面中心;最后精调全反镜姿态,使得激光折叠谐振腔出射激光。本发明可大大提高折叠谐振腔的调试效率。
申请公布号 CN102916331B 申请公布日期 2014.05.28
申请号 CN201210437162.2 申请日期 2012.11.05
申请人 大恒新纪元科技股份有限公司 发明人 奚晓;张翼;邹桂兰;常亮;闫恒忠;姚思一;杨晓红
分类号 H01S3/08(2006.01)I 主分类号 H01S3/08(2006.01)I
代理机构 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 代理人 余功勋
主权项 一种激光折叠谐振腔的调试方法,其步骤为:1)设置一第一参考光束,所述第一参考光束与激光折叠谐振腔的出射激光光路重合,且方向相反;2)在折叠谐振腔输出镜预设位置放入输出镜,调整输出镜的姿态和位置使所述第一参考光束从输出镜中心垂直入射;3)沿激光折叠谐振腔的出射激光光路反向依次在预设位置放入折叠腔镜、全反镜,并依次调整每一折叠腔镜的姿态和位置,使得从输出镜透射或从上一折叠腔镜反射过来的所述第一参考光束入射到当前待调整折叠腔镜的反射面中心,同时当前待调整折叠腔镜反射的第一参考光束入射到下一折叠腔镜的反射面中心;其中,最后待调整折叠腔镜反射的第一参考光束入射到全反镜的反射面中心;4)在折叠谐振腔工作介质预设位置放入工作介质,调整工作介质的姿态和位置使所述第一参考光束从工作介质的端面中心垂直入射;5)调整全反镜的姿态和位置使所述第一参考光束垂直入射到全反镜的反射面中心;6)打开折叠谐振腔的泵浦光源,使其聚焦进入工作介质,然后精调全反镜姿态,使得激光折叠谐振腔出射激光;其中,在放入所述输出镜、或全反镜、或工作介质、或每一折叠腔镜之前首先在对应位置放入一小孔光栏,每一小孔光栏的孔中心为放入的对应单元的入射面中心,当所述参考光束穿过输出镜位置的小孔光栏和步骤3)所确定的第一个折叠腔镜位置的小孔光栏时,固定提供所述参考光束的单元位置和姿态;然后移除所述输出镜对应位置的小孔光栏并放入所述输出镜,调整所述输出镜的姿态和位置使所述参考光束从输出镜中心垂直入射;然后在第一个折叠腔镜位置移除对应的小孔光栏并放入第一个折叠腔镜,调整其位置和姿态使入射到反射面中心的参考光束反射通过下一小孔光栏的中心,然后移除小孔光栏并放入对应的单元并进行调整直到所述全反镜。
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