一种晶圆电性测试方法

摘要

本发明提供一种晶圆电性测试方法，其中，包括：步骤S1：提供一待电性测试晶圆；步骤S2：将所述待电性测试晶圆的测试区域分为四个矩形测试单元格区域；步骤S3：采用所述待电性测试晶圆的圆心点作为所述四个矩形测试单元格区域的统一坐标原点，建立XY轴坐标系；步骤S4：所有测试模块以所述统一坐标原点作为参考基准，具有相对坐标；步骤S5：进行电性测试。本发明将采用晶圆圆心点为坐标原点，由于只存在一个坐标原点，且又是晶圆的圆心点，对于原点坐标在生产中的制作定位变的简单且精准，对应的其余测试模块的坐标的定位也会因为相同的基准坐标原点，而变得准确性更高。

主权项

一种晶圆电性测试方法，其特征在于，包括：步骤S1：提供一待电性测试晶圆；步骤S2：将所述待电性测试晶圆的测试区域分为四个矩形测试单元格区域;步骤S3：采用所述待电性测试晶圆的圆心点作为所述四个矩形测试单元格区域的统一坐标原点，建立XY轴坐标系；步骤S4：所有测试模块以所述统一坐标原点作为参考基准，具有相对坐标；步骤S5：进行电性测试。