发明名称 电容压力计和涉及自动漂移校正的方法
摘要 披露了为压力计提供输出值漂移预测的系统、方法和设备,包括软件实现。可以根据与先前调零事件相关联的历史(例如时间戳),为或相对于电容压力计提供信号或其他指示,表明何时预测有或判定需要保养、更换和/或调零事件。可以将先前记录的时间戳与适当函数进行曲线拟合,以为压力计计算或预测将来的维护、校准和/或更换事件。这种信号或指示可以作为屏幕上的指示来产生,也可以经由数字通信系统链路或系统对压力计进行查询得到。
申请公布号 CN101720427B 申请公布日期 2014.05.28
申请号 CN200880012304.2 申请日期 2008.04.11
申请人 MKS仪器公司 发明人 P·沙利文;D·阿尔卡伊德
分类号 G01L9/12(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I 主分类号 G01L9/12(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 邬少俊;王英
主权项 一种电容压力计,包括:具有第一端口和第二端口的传感器盒;设置在所述传感器盒内的膜片,其中所述膜片具有两侧,且被配置和设置成响应于所述膜片两侧上的相应压力之间的压力差而在所述传感器盒内移动;在所述传感器盒内与所述膜片的一侧相邻设置的电极结构;以及电子电路,配置和设置所述电子电路以,(i)测量所述膜片和所述电极结构之间的电容,(ii)产生与所测到的零压力相对应的零输出读数,(iii)记录两个或更多个时间戳和相应的零点偏移值,每个时间戳对应于相应的零输出读数,以及(iv)根据所述两个或更多个时间戳和相应的零点偏移值来预测所述压力计零输出读数的将来漂移值。
地址 美国马萨诸塞