发明名称 |
匀胶版制造工艺 |
摘要 |
一种匀胶版制造工艺,包括以下步骤:抛光,提供所要生产的匀胶版提供相应尺寸的玻璃基板并进行抛光处理,所述抛光处理包括粗抛与精抛两次抛光处理;清洗,清洗时在清洗机的水箱内增加支撑架支撑抛光后的玻璃基板,并将风刀设置于第二段对玻璃基板进行吹干;镀膜,在清洗后的玻璃基板上先镀一层氮化金属膜,然后再镀一层氮化金属膜和一层氧化金属膜;涂胶,在玻璃基板的膜上涂一层光刻胶,所述光刻胶采用采用静止滴胶的方式边旋转边滴胶;以及坚膜,玻璃基板在涂胶后先水平静置再竖立坚膜,在利用常规尺寸匀胶版的制造设备的基础上,通过对各环节工艺参数的改进,生产出非常规的大尺寸的匀胶版,大幅缩减了生产成本。 |
申请公布号 |
CN103823330A |
申请公布日期 |
2014.05.28 |
申请号 |
CN201410052503.3 |
申请日期 |
2014.02.14 |
申请人 |
深圳市科利德光电材料股份有限公司 |
发明人 |
石孟阳;熊波;庄奎乾;谢庆丰 |
分类号 |
G03F1/60(2012.01)I;G03F1/68(2012.01)I |
主分类号 |
G03F1/60(2012.01)I |
代理机构 |
深圳市弘拓知识产权代理事务所(普通合伙) 44320 |
代理人 |
李新梅 |
主权项 |
一种匀胶版制造工艺,包括以下步骤:抛光,提供所要生产的匀胶版提供相应尺寸的玻璃基板并进行抛光处理,所述抛光处理包括粗抛与精抛两次抛光处理;清洗,清洗时在清洗机的水箱内增加支撑架支撑抛光后的玻璃基板,并将风刀设置于第二段对玻璃基板进行吹干;镀膜,在清洗后的玻璃基板上先镀一层氮化金属膜,然后再镀一层氮化金属膜和一层氧化金属膜;涂胶,在玻璃基板的膜上涂一层光刻胶,所述光刻胶采用采用静止滴胶的方式边旋转边滴胶;以及坚膜,玻璃基板在涂胶后先水平静置,再竖立烘焙坚膜。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区凯虹工业区金龙工业城64栋东六层 |