| 摘要 |
1. Установка для нанесения на подложки покрытий из надлежащих материалов путем электронно-лучевого физического осаждения из паровой фазы, включающая тигельное устройство, содержащее по меньшей мере два тигля, расположенных со смещением друг относительно друга в горизонтальной плоскости, при этом упомянутое тигельное устройство расположено в раме (1), выполненной с возможностью перемещения в горизонтальной плоскости, при этом в упомянутой раме под каждым тиглем расположена по меньшей мере одна доставочная шахта (13) для размещения в ней прутка из материала для формирования покрытия, и включающая по меньшей мере одно подъемное устройство (21), выполненное с возможностью введения упомянутого прутка, расположенного в доставочной шахте (13), через основание тигля в тигель для осуществления там его испарения под действием бомбардировки его электронным лучом от генератора электронов, характеризующаяся тем, что каждый тигль снабжен подъемным устройством (21), расположенным в раме (1), при этом рама (1) выполнена с возможностью линейного перемещения в направлении упомянутого смещения тиглей.2. Установка по п.1, характеризующаяся тем, что тигельное устройство - это одно из двух тигельных устройств, при этом тигли обоих тигельных устройств имеют одно и то же смещение.3. Установка по п.2, характеризующаяся тем, что каждому тиглю предназначена карусель (12), содержащая несколько доставочных шахт (13) и установленная с возможностью вращения вокруг вертикальной оси (14) в раме (1).4. Установка по любому из пп.1-3, характеризующаяся тем, что она расположена в вакуумной камере (4), при этом передача мощности на приводные валы (25) для подъемных � |
