| 摘要 |
Датчик разности давлений с частотно-модулированным выходным сигналом, содержащий полый корпус, две идентичные мембраны с эпитаксиально выращенными на них резонаторами, систему возбуждения собственных колебаний резонаторов и систему формирования частотно-модулированного выходного сигнала, отличающийся тем, что внутри вакуумированной полости, образованной между мембранами, расположены токонесущий напыленный проводник, создающий магнитное поле для возбуждения собственных колебаний резонаторов, и резонаторы. |
