发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Anschlussbereichs eines optoelektronischen Halbleiterchips
摘要 Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Anschlussbereichs (70) eines optoelektronischen Halbleiterchips (100) mit den folgenden Schritten angegeben: – Bereitstellen eines optoelektronischen Halbleiterchips (100), – Ausbilden oder Freilegen einer Saatschicht (6) an einer Außenfläche (100a) des optoelektronischen Halbleiterchips (100), und – stromloses Abscheiden einer Kontaktschichtenfolge (7) auf der Saatschicht (6), wobei – die Saatschicht (6) mit einem Metall gebildet ist, welches das stromlose Abscheiden von Nickel auf der Saatschicht (6) ermöglicht, – die Kontaktschichtenfolge (7) als erste, der Saatschicht (6) zugewandte Schicht eine Nickelschicht (71) umfasst, und – die Kontaktschichtenfolge (7) an ihrer der Saatschicht (6) abgewandten Seite eine Kontaktfläche (7a) aufweist, über die der optoelektronische Halbleiterchip (100) elektrisch kontaktierbar ist.
申请公布号 DE102012111245(A1) 申请公布日期 2014.05.22
申请号 DE201210111245 申请日期 2012.11.21
申请人 OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH 发明人 PFEUFFER, ALEXANDER
分类号 H01L33/40;H01L21/28;H01L23/48;H01L33/60;H01L33/62 主分类号 H01L33/40
代理机构 代理人
主权项
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