Trägervorrichtung und Verfahren zum Schneiden eines an der Trägervorrichtung befestigten Materialblocks

摘要

Trägervorrichtung (1, 10) zur Befestigung eines Materialblocks (13) in einer Schneidevorrichtung beim Schneiden zu Wafern, wobei der Materialblock (13) auf einer Oberfläche (2) der Trägervorrichtung (1, 10) verrutschsicher fixiert ist, und wobei Langlöcher (4) senkrecht zur Schneidebene der Schneidevorrichtung und verteilt über die Breite (B) in die Trägervorrichtung (1, 10) eingebracht sind und Spülkanäle (15) bilden, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägervorrichtung (1, 10) aus mindestens zwei Trägerelementen (11, 12) besteht und jeweils mindestens eine Oberfläche (20) eines Trägerelements (11, 12) ein unebenes Profil aufweist; dass die mindestens zwei Trägerelemente (11, 12) jeweils mindestens eine gegengleich profilierte Oberfläche (20) aufweisen; und dass die mindestens zwei Trägerelemente (11, 12) an den jeweils profilierten Oberflächen (20) miteinander verbunden sind und die Spülkanäle (15) ausbilden.