溅射靶

摘要

一种用于铸造反应材料PVD靶的方法，和由此获得的靶和用于铸造的模具。该方法包括；提供限定开口的模具；将反应材料锭放入邻近模具的储存器（140）内；形成真空并在储存器中熔化反应材料；将模具加热到高于铸造温度并在其中形成真空；将熔化的反应材料从储存器引入开口；并使模具冷却，以形成PVD靶。

主权项

一种用于铸造反应材料PVD靶的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供限定开口的模具，所述模具具有封闭底部；‑将反应材料锭放入邻近模具的储存器内；‑在储存器中形成真空或惰性气体氛围并熔化反应材料；‑将模具加热到高于铸造温度并在模具中形成真空或惰性气体氛围；‑将熔化的反应材料从储存器引入开口；和‑使模具冷却，以形成反应材料PVD靶。