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经营范围
发明名称
基板处理方法及基板处理装置
摘要
申请公布号
TWI438833
申请公布日期
2014.05.21
申请号
TW097103492
申请日期
2008.01.30
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
高桥荣治;网仓纪彦
分类号
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/205
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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