发明名称 常温接合装置及常温接合方法
摘要
申请公布号 TWI438822 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW097138599 申请日期 2008.10.07
申请人 三菱重工业股份有限公司 日本 发明人 木内雅人;后藤崇之;田原谕;津野武志;内海淳;井手健介;铃木毅典
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本