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经营范围
发明名称
常温接合装置及常温接合方法
摘要
申请公布号
TWI438822
申请公布日期
2014.05.21
申请号
TW097138599
申请日期
2008.10.07
申请人
三菱重工业股份有限公司 日本
发明人
木内雅人;后藤崇之;田原谕;津野武志;内海淳;井手健介;铃木毅典
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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