曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法

摘要

一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法，其可调整光罩结构的水平角度，本发明利用至少三个水平向驱动部、至少三个水平向驱动源、至少三个垂直向被动部及至少三个万向接头，其中，水平向驱动部水平活动设置于曝光机且具有第一斜面连接单元，垂直向被动部垂直活动设置于曝光机且具有第二斜面连接单元以与第一斜面连接单元面对面活动连接，万向接头以一侧连接垂直向被动部，以另一侧连接光罩结构，水平向驱动源驱动水平向驱动部。因此，本发明可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行。

主权项

一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，其包含：至少三个水平向驱动部，其水平活动设置于该曝光机，该等水平向驱动部分别具有第一斜面连接单元；至少三个水平向驱动源，其设置于该曝光机以分别驱动该等水平向驱动部；至少三个垂直向被动部，其垂直活动设置于该曝光机，该等垂直向被动部分别具有第二斜面连接单元以分别与该等第一斜面连接单元面对面活动连接；以及至少三个万向接头，其分别以一侧连接该等垂直向被动部，及分别以另一侧连接该光罩结构。