一种显影喷头

摘要

本发明涉及在半导体晶片上获得光刻胶图形的显影处理设备，具体地说是一种显影喷头，包括显影供液管、固定托架调节块、显影管接头、显影管固定托架及显影喷管，显影管固定托架的两端分别安装有沿其长度方向往复移动的固定托架调节块，每个固定托架调节块上均设有显影管接头；显影喷管安装在显影管固定托架上、两端分别与显影管接头的一端连通，每个显影管接头的另一端通过显影供液管与显影液源相连通；显影喷管通过固定托架调节块在显影管固定托架上的移动水平拉伸，在显影喷管上均布有多个喷孔。采用本发明的显影喷头，显影液在晶圆上的停留时间没有差异，显影喷管保证水平拉伸，使显影液均匀覆盖，提高了显影均匀性。

主权项

一种显影喷头，位于放置晶片的承片台上方，其特征在于：所述显影喷头包括显影供液管（1）、固定托架调节块（2）、显影管接头（3）、显影管固定托架（5）及显影喷管（7），其中显影管固定托架（5）的两端分别安装有沿其长度方向往复移动的固定托架调节块（2），每个固定托架调节块（2）上均设有显影管接头（3）；所述显影喷管（7）安装在显影管固定托架（5）上、两端分别与显影管接头（3）的一端连通，每个显影管接头（3）的另一端通过显影供液管（1）与显影液源相连通；所述显影喷管（7）通过固定托架调节块（2）在显影管固定托架（5）上的移动水平拉伸，在显影喷管（7）上均布有多个喷孔。