一种单片湿法处理模块的工艺杯

摘要

本发明涉及集成电路制造单片湿法处理设备，具体地说是一种单片湿法处理模块的工艺杯，包括杯座、底板、载片台、外罩杯及驱动装置，其中杯座安装在底板上，具有吸附晶片作用的载片台位于杯座内部、并与电机驱动的转动轴相连，所述外罩杯与安装在底板上的驱动装置连接，通过驱动装置驱动翻转、空出工艺模块装载或卸载晶片的空间及通道。本发明的工艺杯组件的结构简单，加工制造、装配及维护保养容易，有效地减少了设备制造商的投资成本和运营商的运行成本。

主权项

一种单片湿法处理模块的工艺杯，其特征在于：包括杯座（1)、底板（2）、载片台（3)、外罩杯（5）及驱动装置（6），其中杯座（1）安装在底板（2）上，具有吸附晶片作用的载片台（3）位于杯座（1）内部、并与电机驱动的转动轴相连，所述外罩杯（5）与安装在底板（2）上的驱动装置（6）连接，通过驱动装置（6）驱动翻转、空出工艺模块装载或卸载晶片（8）的空间及通道。