氧化铝单晶生长炉的铜环结构

摘要

本实用新型涉及一种氧化铝单晶生长炉的铜环结构，包含由两组半环部件构成的铜环主体、分别开设在每组半环部件表面的槽体、分别插入每组半环部件内并与所述槽体相连的长中空导电棒和短中空导电棒；所述长中空导电棒的两端和所述短中空导电棒的两端为不封闭的；所述长中空导电棒通过所述槽体与所述短中空导电棒导通。同现有技术相比，冷却介质是通过长中空导电棒进入半环部件的槽体中对半环部件进行冷却，经换热后的冷却介质再由短中空导电棒进行排出。由于铜环两端与导电棒连接处采用圆弧过渡，所以在不影响铜环导电性能和载流量的前提下，极大的减小了铜环的体积和散热面积，进而降低了设备的功耗。

主权项

一种氧化铝单晶生长炉的铜环结构，包含由两组半环部件构成的铜环主体，其特征在于： 所述氧化铝单晶生长炉的铜环结构还包含：分别开设在每组半环部件表面的槽体、分别插入每组半环部件内并与所述槽体相连的长中空导电棒和短中空导电棒； 所述长中空导电棒的两端和所述短中空导电棒的两端为不封闭的；所述长中空导电棒通过所述槽体与所述短中空导电棒导通。