隔振装置

摘要

本发明公开了一种隔振装置。该隔振装置(1)包括：支撑平台的顶板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在顶板(11)与基板(21)之间安装在这两板上，并且用螺旋弹簧(13)在地板上对被放置精密设备的平台进行隔振支撑的弹簧单元(3)。该隔振装置(1)构成为：能够以收纳在顶板(11)与基板(21)之间的空间内的方式对顶板(11)可装卸地安装铅垂单元(5)及/或水平单元(7)，该铅垂单元(5)是铅垂加速度传感器(15)及铅垂VCM一起模块化而构成的，该水平单元(7)是水平加速度传感器及水平VCM一起模块化而构成的。因此，能够提供一种具备使用者所要求的性能、尺寸较小且价格低廉的隔振装置。

主权项

一种隔振装置，该隔振装置包括上板、下板及被动型隔振装置，该上板支撑平台，该下板放置在基部上，该被动型隔振装置在该上板与该下板之间安装在这两板上，该被动型隔振装置用螺旋弹簧相对于该基部对放置在该平台上的设备进行隔振支撑，其特征在于：所述隔振装置构成为：能够以收纳在所述上板与所述下板之间的空间内的方式对该上板可装卸地安装第一控制力施加装置及／或第二控制力施加装置，该第一控制力施加装置包括第一振动传感器、第一致动器以及用于收纳该第一振动传感器和该第一致动器的第一罩盖，该第一振动传感器用来检测所述设备在铅垂方向上的振动，该第一致动器用来沿铅垂方向对所述设备施加控制力，该第二控制力施加装置包括第二振动传感器、第二致动器以及用于收纳该第二振动传感器和该第二致动器的第二罩盖，该第二振动传感器用来检测所述设备在水平方向上的振动，该第二致动器用来沿水平方向对所述设备施加控制力，根据所述第一振动传感器和/或第二振动传感器检测的所述设备的振动状态得到反馈控制量并输出给所述第一致动器和/或第二致动器，来控制所述第一控制力施加装置和/或第二控制力施加装置的控制装置构成为以收纳在所述上板与所述下板之间的空间内的方式安装在该下板上或从该下板上取下。