发明名称 SOI基板的制造方法和半导体装置的制造方法
摘要
申请公布号 TWI438864 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW097124555 申请日期 2008.06.30
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 日本 发明人 下村明久;大沼英人;挂端哲弥;牧野贤一郎
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本