一种多晶硅片制绒方法及制绒液

摘要

本发明提供一种多晶硅片制绒方法及制绒液。现有技术中仅通过含有氧化剂和氢氟酸的多晶硅片制绒液对多晶硅片进行制绒导致绒面反射率较高，且易导致对缺陷密集区域过腐蚀从而造成强度降低和效率降低。本发明的多晶硅片制绒方法先腐蚀去除多晶硅片表面的损伤层，接着通过去离子水清洗所述多晶硅片，然后通过包括氧化剂、氢氟酸和蒙砂剂的多晶硅片制绒液对所述多晶硅片进行制绒，最后通过包括能够溶解蒙砂剂的成分的清洗液清洗所述多晶硅片。本发明可降低所制得的绒面的反射率，并避免制绒后多晶硅片的强度降低，且能提高对应的太阳电池的转换效率。

主权项

一种多晶硅片制绒方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：a、腐蚀去除多晶硅片表面的损伤层；b、通过去离子水清洗所述多晶硅片；c、通过多晶硅片制绒液对所述多晶硅片进行制绒，所述多晶硅片制绒液包括氧化剂、氢氟酸和蒙砂剂；d、通过清洗液清洗所述多晶硅片，所述清洗液包括用于溶解蒙砂剂的成分。