一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法

摘要

一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，该方法包括：采用数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监控模块属性和/或报警恢复属性；读取数据库中所有报警及其属性并注册PLC报警监控；如果PLC部分发生报警事件，进入PLC报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数并向上位机发出报警；如果上位机部分发生报警事件，进入上位机报警监控函数读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数并发出报警；最后，根据报警处理函数所对应数据库中该报警的处理方式属性，选择相应的报警恢复方式进行报警处理。

主权项

一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，所述半导体加工设备中包括多个被监控模块，所述被监控模块由上位机和/或下位机监控报警；其中，所述下位机为可编程控制器，其特征在于，所述方法具体包括：步骤S1：采用报警及属性数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监控模块属性和/或报警恢复属性；步骤S2：在工艺过程启动过程中，读取数据库中所有报警及其属性，并且注册PLC报警监控；步骤S3：在工艺过程中，如果PLC部分发生报警事件，进入PLC报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；如果上位机部分发生报警事件，进入上位机报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；步骤S4：报警处理函数单元根据报警发送函数所对应数据库中该报警的处理方式属性，选择相应的报警恢复方式，通知报警处理方式执行单元进行报警处理。