任意面形的高精度光学表面确定性加工系统

摘要

本发明涉及高精度光学加工领域，公开了一种三维的适合于任意面形的高精度光学表面加工系统。本发明在计算机控制的确定性抛光技术的基础上，通过软件控制，增加工件在垂直方向的移动性，使工件在加工过程保持高度差不变，保证了对大起伏非平面部件加工时的恒定去除率，从而实现任意曲面的非平面光学曲面的高精度加工。本发明可实现对10厘米×10厘米大小级别的光学部件误差为1/100波长的表面面形超高精度及约1/1000波长的均方根(RMS)误差的加工能力，并实现对任意曲面面形的加工能力。本发明可适用于光学表面、半导体材料薄膜表面等多种不同应用的材料，可成为一种方便、灵活、通用的制造工艺而应用于多种行业。

主权项

一种任意面形的高精度光学表面确定性加工系统，其特征在于，通过计算机软件，对确定性加工工具进行三维控制，即由计算机同时控制平面上的XY轴扫描和Z轴方向上的高度，以达到高精度加工大曲面光学表面加工的目的，从而实现任意光学表面的高精度加工。