| 发明名称 | 一种光刻机水平测量装置及测量方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种光刻机水平测量装置，包括：容器瓶，所述容器瓶中装有液体；容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔；柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中有液柱；导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部；测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。本发明方便用于TFT光刻机安装时的支撑脚的垂向高度差的测量，并根据支撑脚的垂向高度差对支撑脚作水平调整，测量工作简单易行，操作方便，测量精度高。 | ||
| 申请公布号 | CN103809383A | 申请公布日期 | 2014.05.21 |
| 申请号 | CN201210451764.3 | 申请日期 | 2012.11.12 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王天明 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01C9/18(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种光刻机水平测量装置，其特征在于，包括：容器瓶，所述容器瓶中装有液体；容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔；柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中充有连续的液体；导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部；测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||