发明名称
摘要
申请公布号 JP5500302(B2) 申请公布日期 2014.05.21
申请号 JP20130151796 申请日期 2013.07.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址