集成梳状静电预加载的微纳材料力学性能检测结构

摘要

本发明提出一种集成梳状静电预加载的微纳材料力学性能检测结构，包括后屈曲式微力检测结构和集成梳状静电式预加载结构，其中，集成梳状静电式预加载结构在其内部成对的集成梳状结构上加载电压后能够利用静电作用力引发变形以实施预加载，当集成梳状静电式预加载结构未实施预加载时，后屈曲式微力检测结构处于无加载状态，当集成梳状静电式预加载结构实施预加载时，后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，使后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。本发明具有尺寸小、稳定可靠，可重复使用，对轴向微力敏感，力分辨率高，横向变形可控制等优点。

主权项

一种集成梳状静电预加载的微纳材料力学性能检测结构，其特征在于，包括：后屈曲式微力检测结构和集成梳状静电式预加载结构,所述后屈曲式微力检测结构与所述集成梳状静电式预加载结构相连，其中，所述集成梳状静电式预加载结构被构造为在其内部成对的集成梳状结构上加载电压后能够利用静电作用力引发变形以实施预加载；所述后屈曲式微力检测结构被构造为当所述集成梳状静电式预加载结构未实施预加载时，所述后屈曲式微力检测结构处于自然的无加载状态，当集成梳状静电式预加载结构实施预加载时，所述后屈曲式微力检测结构被轴向压缩，处于预加载屈曲平衡状态，然后所述后屈曲式微力检测结构受到试件的轴向微力作用，所述预加载屈曲平衡状态发生改变，使所述后屈曲式微力检测结构发生放大的横向结构变化，从而实现微力检测。