薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

摘要

本发明提供了薄膜晶体管阵列面板及其制造方法。该薄膜晶体管阵列面板包括：基板；栅线，每条栅线包括栅极垫；栅绝缘层；数据线和漏电极，每条数据线包括连接到源电极的数据垫；第一钝化层，设置在数据线和漏电极上；第一电场产生电极；第二钝化层，设置在第一电场产生电极上；以及第二电场产生电极。栅绝缘层、第一钝化层和第二钝化层包括暴露部分栅极垫的第一接触孔，第一钝化层和第二钝化层包括暴露部分数据垫的第二接触孔，第一接触孔和第二接触孔中的至少一个具有正锥形结构，该正锥形结构在上侧具有比下侧更宽的区域。

主权项

一种薄膜晶体管阵列面板，包括：基板；多条栅线，设置在所述基板上，其中每条栅线包括栅极垫；栅绝缘层，设置在所述多条栅线上；多条数据线和漏电极，设置在所述栅绝缘层上，其中每条数据线包括连接到源电极的数据垫；第一钝化层，设置在所述多条数据线和所述漏电极上；第一电场产生电极，设置在所述第一钝化层上；第二钝化层，设置在所述第一电场产生电极上；以及第二电场产生电极，设置在所述第二钝化层上，其中所述第一钝化层和所述第二钝化层为无机材料，所述栅绝缘层、所述第一钝化层和所述第二钝化层包括暴露部分所述栅极垫的第一接触孔，所述第一钝化层和所述第二钝化层包括暴露部分所述数据垫的第二接触孔，所述第一接触孔和所述第二接触孔中的至少一个具有正锥形结构，该正锥形结构在上侧具有比下侧更宽的区域。