晶圆支撑基座

摘要

本发明提供一种晶圆支撑基座，包括：支撑板、支杆和插板。所述支撑板作为晶圆的放置平台，支杆用于支撑所述支撑板。支撑板的第一表面用于放置晶圆，支撑板的第二表面开设有开孔。所述支杆的第一端插于所述开孔内；在所述支撑板的侧壁开设插槽，所述插槽与开孔相通，所述插板安装在所述插槽内，所述插板与支杆通过锁紧结构固定连接。通过上述技术方案，可将支杆的第一端牢牢地固定在所述开孔内，避免支杆脱离所述支撑板，提高所述支杆固定在支撑板上的牢固度。

主权项

一种晶圆支撑基座，其特征在于，包括：支撑板，所述支撑板包括第一表面、第二表面，以及环绕所述第一表面和第二表面的侧壁，所述第一表面用于放置晶圆；所述支撑板的第二表面开设有开孔；所述支撑板的侧壁开设有插槽，所述插槽和所述开孔相通；支杆，包括第一端，所述第一端位于所述开孔内；插板，设置于所述插槽中，通过锁紧结构与位于所述支杆的第一端固定连接。