晶圆探针测试次数的检测方法

摘要

一种晶圆探针测试次数的检测方法，包括：提供晶圆，在所述晶圆上设置有扎针区，所述扎针区与晶圆中的待测芯片相互隔开；利用探针台，对所述晶圆中的所有待测芯片进行多次探针测试；对所述晶圆中的所有待测芯片进行一次探针测试之前或之后，在所述扎针区上形成一个标记，对应多次探针测试形成多个标记，根据标记的数量得到晶圆探针测试次数，扎针区上的标记为晶圆探针测试次数的自动“记录”，一个晶圆上扎针区的标记的数量等于晶圆探针测试次数。使用本技术方案，可实现自动记录每片晶圆的探针测试次数。

主权项

一种晶圆探针测试次数的检测方法，其特征在于，包括：提供晶圆，在所述晶圆上设置有扎针区，所述扎针区与晶圆中的待测芯片相互隔开；利用探针台，对所述晶圆中的所有待测芯片进行多次探针测试；对所述晶圆中的所有待测芯片进行一次探针测试之前或之后，在所述扎针区上形成一个标记，对应多次探针测试形成多个标记，根据标记的数量得到晶圆探针测试次数。