发明名称 氮化硅烧结体及其制造方法
摘要 本发明的氮化硅烧结体具有实质上无取向的晶体,热传导系数为100W/mK以上,而且按照JIS R1601测定的常温三点弯曲强度为500MPa以上。该烧结体可以通过具备以下工序的方法来合适地制造:将含有氮化硅粉末的原料粉末在1400~1750℃之间的恒定温度下保持1~100小时的老化工序;从老化工序中的温度以1~100℃/h的升温速度进行升温的升温工序;以及在1800~2000℃之间的恒定温度下烧成30~60小时的烧成工序。
申请公布号 CN103813997A 申请公布日期 2014.05.21
申请号 CN201380003146.5 申请日期 2013.01.25
申请人 三井金属矿业株式会社 发明人 有马峻;松村保范;梶野仁
分类号 C04B35/584(2006.01)I 主分类号 C04B35/584(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 张楠;陈建全
主权项 一种氮化硅烧结体,其特征在于,氮化硅的晶体实质上无取向,热传导系数为100W/mK以上,而且按照JIS R1601测定的常温三点弯曲强度为500MPa以上。
地址 日本东京