一种高纯气体分装系统

摘要

本实用新型公开了一种高纯气体分装系统，包括低温液体贮槽，与低温液体贮槽相连的柱塞式低温液体泵一，与柱塞式低温液体泵一管道相连的汽化器一，与汽化器一管道相连的汇流排一，在汽化器一和汇流排一相连接的管道上还设置有压力表一，还包括与低温液体贮槽相连的柱塞式低温液体泵二，与柱塞式低温液体泵二管道相连的气体定重充装气动切断装置，在低温液体贮槽部液相出口和低温液体贮槽部气相出口与低温高压液泵二连的管道上和在低温高压液泵二道与气体定重充装气动切断装置连的管道外部还设置有保温材料层。本实用新型既能对气瓶进行分装，又能对焊接绝热气瓶进行分装，通用性好，实用性强，大大节省了分装气体的成本。

主权项

一种高纯气体分装系统，包括低温液体贮槽，与所述低温液体贮槽下部液相出口和低温液体贮槽上部气相出口管道相连的柱塞式低温液体泵一，与所述柱塞式低温液体泵一管道相连的汽化器一，与所述汽化器一管道相连的汇流排一，在所述汽化器一和汇流排一相连接的管道上还设置有压力表一，其特征在于：还包括与所述低温液体贮槽下部液相出口和低温液体贮槽上部气相出口管道相连的柱塞式低温液体泵二，与所述柱塞式低温液体泵二管道相连的气体定重充装气动切断装置，在所述低温液体贮槽部液相出口和低温液体贮槽部气相出口与低温高压液泵二连的管道上和在所述低温高压液泵二道与气体定重充装气动切断装置连的管道外部还设置有保温材料层。