发明名称 沈积含锑相变材料至基材之方法及形成相变记忆体电路之方法
摘要
申请公布号 TWI438299 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW099110931 申请日期 2010.04.08
申请人 美光科技公司 美国 发明人 奎克 提摩西A;马许 尤金P
分类号 C23C16/18;C23C16/44;H01L45/00;H01L27/24;H01L21/8247 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国