| 发明名称 | 磁控溅射镀膜系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种磁控溅射镀膜系统，包括磁控溅射镀膜腔室，其特征在于，还包括设置于所述磁控溅射镀膜腔室中的三段式加热装置，所述三段式加热装置包括三段式加热器及热反射板，所述三段式加热器包括第一加热段、第二加热段和第三加热段，所述第一加热段、第二加热段和第三加热段均设置于所述热反射板上，所述第一加热段包括多个平行设置的第一加热管，所述第二加热段包括多个平行设置的第二加热管，所述第三加热段包括多个平行设置的第三加热管。包括第一加热段、第二加热段和第三加热段的三段式加热器产生的热量通过热发射板进行反射隔热，使得腔体受热较为均匀，腔体内温度分布较为均匀和稳定。 | ||
| 申请公布号 | CN103805954A | 申请公布日期 | 2014.05.21 |
| 申请号 | CN201410058054.3 | 申请日期 | 2014.02.20 |
| 申请人 | 江西沃格光电股份有限公司 | 发明人 | 张迅;阳威;欧阳小园;易伟华 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 吴平 |
| 主权项 | 一种磁控溅射镀膜系统，包括磁控溅射镀膜腔室，其特征在于，还包括设置于所述磁控溅射镀膜腔室中的三段式加热装置，所述三段式加热装置包括三段式加热器及热反射板，所述三段式加热器包括第一加热段、第二加热段和第三加热段，所述第一加热段、第二加热段和第三加热段均设置于所述热反射板上，所述第一加热段包括多个平行设置的第一加热管，所述第二加热段包括多个平行设置的第二加热管，所述第三加热段包括多个平行设置的第三加热管。 | ||
| 地址 | 338004 江西省新余市高新技术产业开发区西城大道沃格工业园 | ||