发明名称 光罩及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI438564 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW100148584 申请日期 2011.12.23
申请人 友达光电股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 发明人 萧智鸿;张玮志;翁照钦
分类号 G03F1/00;C03C4/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号