发明名称 Procédé de fabrication d'un dispositif à semi-conducteur
摘要
申请公布号 FR1286808(A) 申请公布日期 1962.03.09
申请号 FR19610850709 申请日期 1961.01.25
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 C01B33/02;C23C16/06;C30B25/12;H01L21/00;H01L21/205;H01L29/00 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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