发明名称 氧化物蒸镀材与蒸镀薄膜以及太阳能电池
摘要
申请公布号 TWI438287 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW100100885 申请日期 2011.01.11
申请人 住友金属鑛山股份有限公司 日本 发明人 阿部能之;和气理一郎;桑原正和;曾我部健太郎;大城梓;矢田久贵
分类号 C23C14/08;C23C14/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;丁国隆 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址 日本