发明名称 分割结合至晶圆之黏着剂膜的方法
摘要
申请公布号 TWI438834 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW096113368 申请日期 2007.04.16
申请人 迪斯科股份有限公司 日本 发明人 中村胜
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本