发明名称 应用于锗硅工艺中多电源间的静电保护结构
摘要 本发明公开了一种应用于锗硅工艺中多电源间的静电保护结构,包括并联的两个支路,每个支路为一个基本电路结构或多个串联的基本电路结构。所述基本电路结构包括一个HBT、连接在该HBT的基极和集电极之间的一个电容、连接在该HBT的基极和发射极之间的一个电阻;该HBT的集电极和发射极分别作为所述基本电路结构的两端。所述并联的两个支路的两端分别连接两个电源。本发明可以集成在现有的简化锗硅工艺之中,并且具有较高的静电泻放能力,有利于缩小版图面积。
申请公布号 CN102545180B 申请公布日期 2014.05.21
申请号 CN201010576693.0 申请日期 2010.12.07
申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司 发明人 高翔;王邦麟;徐向明
分类号 H02H9/02(2006.01)I;H02H9/04(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I 主分类号 H02H9/02(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 丁纪铁
主权项 一种应用于锗硅工艺中多电源间的静电保护结构,其特征是,包括并联的两个支路,每个支路为一个基本电路结构或多个串联的基本电路结构;所述基本电路结构包括一个HBT(异质结双极晶体管)、连接在该HBT的基极和集电极之间的一个电容、连接在该HBT的基极和发射极之间的一个电阻;该HBT的集电极和发射极分别作为所述基本电路结构的两端;所述并联的两个支路的两端分别连接两个电源;当一个电源向另一个电源发生静电泻放时,一条支路上的HBT开启以泻放静电电流,另一条支路上HBT中寄生的正向二极管也泻放静电电流;所述HBT中寄生的正向二极管为该HBT的基极和集电极构成、或者为该HBT的基极和发射极构成。
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号