动态波前测试装置

摘要

本发明涉及一种动态波前测试装置，包括主动光源、被动光源、分光镜、校准镜、标准镜头、微透镜阵列以及CCD探测器；分光镜设置在主动光源以及被动光源的入射光路上；分光镜将主动光源的入射光分为主动反射光及主动透射光；分光镜将被动光源的入射光分为被动透射光以及被动反射光；校准镜和标准镜头设置在分光镜与待测光学元件之间的光路上；微透镜阵列设置在被动透射光的光路上；CCD探测器设置在经微透镜阵列后的出射光的光路上。本发明提出了不受外界环境影响、能够保证测试精度的动态波前测试装置。

主权项

一种动态波前测试装置，其特征在于：所述动态波前测试装置包括主动光源、被动光源、分光镜、校准镜、标准镜头、微透镜阵列、CCD探测器以及计算机；所述分光镜设置在主动光源以及被动光源的入射光路上；所述分光镜将主动光源的入射光分为主动反射光及主动透射光；所述分光镜将被动光源的入射光分为被动透射光以及被动反射光；待测光学元件设置在主动反射光的光路上或者设置在被动光源的出射光路上；所述校准镜和标准镜头设置在分光镜与待测光学元件之间的光路上；所述微透镜阵列设置在被动透射光的光路上，或者设置在主动反射光经标准镜头透射和待测光学元件反射后再经标准镜头入射至分束镜后所形成的透射光的光路上；所述CCD探测器设置在经微透镜阵列后的出射光的光路上；所述计算机与CCD探测器电性相连。