致动器、可变形镜、使用可变形镜的自适应光学系统和使用自适应光学系统的扫描激光检眼镜

摘要

本发明涉及致动器、可变形镜、使用可变形镜的自适应光学系统和使用自适应光学系统的扫描激光检眼镜。提供了一种致动器，其包括：衬底；可动部，设置为使得相对于衬底可动；至少三个弹性体，用于以可移位方式将可动部支撑到衬底上；由可动部支撑并且在与衬底的表面平行的方向上延伸的可动梳状电极；以及由衬底支撑并且在与衬底的表面平行的方向上延伸的固定梳状电极，其中可动梳状电极和固定梳状电极被布置为使得在有间距的情况下交替地彼此啮合，并且所有弹性体中的每一个弹性体具有相对于其它弹性体中的至少一个弹性体形成大于90°且小于或等于180°的角度的长轴。

主权项

一种致动器，包括：衬底；可动部，设置为使得相对于衬底可动；至少三个弹性体，用于连接可动部和衬底；包括多个梳齿的可动梳状电极，所述可动梳状电极的多个梳齿中的每个梳齿具有由可动部支撑的一个端部并且在与衬底的表面平行的方向上从由可动部支撑的一个端部延伸；以及包括多个梳齿的固定梳状电极，所述固定梳状电极的多个梳齿中的每个梳齿具有由衬底支撑的一个端部并且在与衬底的表面平行的方向上从由衬底支撑的一个端部延伸，其中所述可动梳状电极的多个梳齿以及所述固定梳状电极的多个梳齿被布置为使得在有间距的情况下交替地彼此啮合，以及其中所有所述至少三个弹性体中的每一个弹性体具有相对于其它弹性体中的至少一个弹性体的长轴形成大于90°且小于或等于180°的角度的长轴。