用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构

摘要

本实用新型公开了一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其中，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元；所述X轴传送单元包括第一伺服电机、第一丝杠、第一直线导轨、X轴板和第一防护罩；所述Y轴传送单元包括第二伺服电机、第二丝杠、第二直线导轨、Y轴板和第二防护罩；所述Z轴传送单元包括第三伺服电机、第三丝杠、第三直线导轨和Z轴板；所述Z轴板安装在X轴板上，所述Y轴板安装在真空平台的下方。本实用新型提供的用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，能够大大降低制作成本，易于维护维修，而且保证设备的响应速度及精度。

主权项

一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括X轴传送单元和Y轴传送单元，所述X轴传送单元沿垂直方向设置，所述Y轴传送单元沿水平方向设置，其特征在于，所述X轴传送单元上安装有Z轴传送单元。