一种自适应磁场调整型磁控溅射镀膜设备

摘要

本实用新型所述的自适应磁场调整型磁控溅射镀膜设备，相邻所述永磁铁之间设置有通电线圈，在所述通电线圈和所述磁轭之间设置有霍尔传感器，所述通电线圈的长度方向与所述永磁铁磁极方向垂直；所述霍尔传感器外接磁场强度侦测系统，用于磁场强度的实时监测；所述通电线圈外接电路控制模块，所述电路控制模块与所述磁场强度侦测系统电连接，根据所述磁场强度侦测系统的数据调整流经通电线圈的电流，以改变磁场分布，使得磁场一直处于最优化的状态，即磁力线尽量与靶面处于同一平面，以达到靶材利用率最大的效果。

主权项

一种自适应磁场调整型磁控溅射镀膜设备，包括腔室，平行且依次设置在腔室内的基片、靶材和磁轭，以及靠近靶材且直接设置在磁轭上的若干永磁铁，相邻永磁铁的磁极方向相反，永磁铁的磁极方向垂直于靶材；其特征在于，相邻所述永磁铁之间还设置有通电线圈，以及固定设置在所述通电线圈和所述磁轭之间的霍尔传感器，所述通电线圈的长度方向与所述永磁铁磁极方向垂直；所述霍尔传感器外接磁场强度侦测系统，用于磁场强度的实时监测；所述通电线圈外接电路控制模块，所述电路控制模块与所述磁场强度侦测系统电连接，根据所述磁场强度侦测系统的数据调整流经通电线圈的电流，以改变磁场分布。