液体喷射头、液体喷射装置以及致动装置

摘要

本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置以及致动装置，其能够抑制压电体层的损坏。液体喷射头具备：第一电极（60），其被设置于基板上；压电体层（70），其被设置于该第一电极（60）上；第二电极（80），其被设置于该压电体层（70）上，所述压电体层（70）具有被所述第一电极（60）和所述第二电极（80）夹持且至少一端部通过所述第二电极（80）而被规定的有源部（310）、和被设置于与所述第二电极（80）的对所述有源部（310）进行规定的端部相比靠外侧的位置处且厚度薄于所述有源部（310）的无源部（320），所述无源部（320）通过倾斜面（330）而与所述有源部（310）连续，所述第二电极（80）具有压缩应力。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，具备：第一电极，其被设置于基板上方；压电体层，其被设置于该第一电极上方；第二电极，其被设置于该压电体层上方，所述压电体层具有有源部和无源部，其中，所述有源部被所述第一电极和所述第二电极夹持，且至少一端部通过所述第二电极而被规定，所述无源部被设置于，与所述第二电极的对所述有源部进行规定的端部相比靠外侧的位置处，且厚度薄于所述有源部，所述无源部通过倾斜面而与所述有源部连续，所述第二电极具有压缩应力。